Ultrahochreine Beschichtungen

Ultrahochreine Mineralsäuren und -basen bilden den Kern bei nassen Herstellungsprozessen. Während die Herstellung solcher Chemikalien nach gewissen bewährten Prozessen erfolgt, erfordert die Nachfrage nach hoher Reinheit sorgfältige Kontrollen des gewählten Materials für Verkleidung und Beschichtung, um Anlagen wie Destillationskolonnen, Kondensatoren und Wärmetauscher sowie Lagertanks zu schützen. Dies macht sie zu einer zentralen Aufgabe für eine erfolgreiche Anwendung. Die Herstellung derartiger Backbone-Chemikalien mit ppt-Reinheitsgraden bedeutet, dass Materialien aus Fluorpolymeren die richtige Wahl beim Bau sind.

PFA Perfluoropolymer Engineered Beschichtungen von Edlon® wurden als Standard zum Gebrauch im fotoresistentem und ätzendem Flüssigkeitsmanagement eingeführt.

Chemikalien, die zur Herstellung elektronischer Geräte wie Reinigungs- und Veredelungsmittel für Wafers, verschiedene lithographische Musterprozesse sowie Chemikalien eingesetzt werden, die für gedruckte Elektronik verwendet werden, müssen mit ppt-Reinheitsgraden hergestellt werden. Um diesen hohen Reinheitsgrad aufrechtzuerhalten, werden mit Fluorpolymeren beschichtete und ausgekleidete Anlagen zur Aufnahme und Handhabung von Flüssigkeiten verwendet, die den Gehalt an Metallkationen, die von der Oberfläche der Behälter in die Chemikalien ausgewaschen werden, erheblich reduzieren. Spurenelemente können die Leistungsfähigkeit des Materials wesentlich beeinflussen.

Um diesen Anforderungen zu entsprechen, hat Edlon® speziell die einzigartige PFA Perfluorpolymer-Rezeptur für das elektrostatische Beschichtungsverfahren entwickelt, welches bei den führenden Herstellern fotoresistenter und ätzender Produkte gefragt ist. Sowohl vor Ort als auch in unabhängigen Labors jahrelang durchgeführte Tests bewiesen, dass das PFA SC-7005^TM Beschichtungsverfahren die Fähigkeit besitzt, ppt-Konzentrationen von Metallkationen der Beschichtung auf Lebenszeit konstant zu halten. Es ist jetzt das meist gewählte Material für Reaktoren und Tanks in der Herstellung und Lagerung von ultrahochreinen Chemikalien.